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頻域熱反射顯微測量（FDTR）

頻域熱反射設(shè)備（FDTR)

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顯微成像橢偏儀

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多功能高低溫真空探針臺

材料測試

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粉末原子層沉積系統(tǒng)ALD

ALD原子層沉積設(shè)備

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桌面/臺式原子層沉積系統(tǒng)ALD

ALD原子層沉積設(shè)備

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大尺寸臺式熱原子層沉積系統(tǒng) ALD

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等離子體增強(qiáng)原子層沉積PEALD

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脈沖電閃蒸反應(yīng)器

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